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为摩尔定律续命30年,EUV究竟意味着什么?


2019-9-27 10:08:17

 前面我们探讨过量子计算光明而遥远的未来,回归现实之中,我们还是只能依靠经典计算来解决当下的计算需求。

  所以,科学家们也在努力给摩尔定律续命。其中一项极为关键的技术,就是——EUV极紫外光刻。

  过去一两年的时间里,EUV没少在产业中刷存在感。三星、台积电、英特尔等都在争先恐后地将EUV投入芯片量产,中芯国际斥资1.2亿美元买入EUV光刻机成了大新闻,日本对韩国的半导体禁令中,EUV光刻胶更是被关注的焦点……

  这项技术凭什么被称为摩尔定律的救星,又是否来到了最好的应用节点呢?

  EUV登场:为摩尔定律再续一秒

  计算能力看芯片,芯片性能看光刻,那光刻技术看什么,在众多工艺中,大多数产业人士给出的答案,就是EUV。

  所谓EUV,指的是波长13.5nm 的极紫外光,相比于当前主流光刻机用的193nm光源,EUV的光源只有十五分之一,能够在硅片上刻下更小的沟道。

  业内形容EUV的细致程度,就好像从地球上发出的手电筒光线,精准地照射到一枚月球上的硬币一样。这么严苛的工艺要求,真的有必要吗?

(EUV光刻与ARF光刻的显影效果对比)

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